韩国产业通商资源部于近日宣布，针对《高压气体安全管理法施行令》的实施细则修订案已通过国务会议的审议。该修订案将在下周正式对外公布后立即生效执行。此次政策调整的核心目的在于优化和简化极紫外（EUV）光刻设备的引入流程。
按照韩国此前的高压气体安全管理标准，EUV光刻设备因其内部集成的高压气体管道与装置，被归类为“高压气体制造设备”。这意味着每台EUV光刻机在安装时，都必须经过严格的技术审查和全面的检查程序。然而，根据修订后的新规范，EUV光刻机将被认定为一种“特定设备”，从而允许其在部分环节中大幅缩短甚至取消原有的审批和检测步骤。
在修订前的流程中，EUV光刻机从技术审查到最终竣工核验，整个过程需耗时34天。具体包括15天的技术审查、5天的许可审批、7天的中间检查，以及最后的7天竣工核验。而根据最新的修订案，技术审查和竣工核验的时间均被压缩至2天，并且取消了繁琐的中间检查环节。通过这些优化，EUV光刻机的总导入时间将缩短至仅9天，相比原流程节省了整整25天。
除了时间的显著缩短，此次改革还将为相关企业带来可观的经济效益。此前，中间检查环节通常需要由获得海外资质认证的检验机构进行压力和泄漏测试，每台设备的这项费用高达约5亿韩元（按当前汇率计算，约合224.8万元人民币）。随着中间检查环节的取消，企业将不再需要承担这笔庞大的开支。